半導體製程簡介

小尺寸之顯像解析. 度，更在IC 製程的進步上，扮演著最關鍵的角色。由於光學上. 的 需要，此段製程之照明採用偏黃色的可見光。因此俗稱此區為. 黃光區。 乾式蝕刻.

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