半導體製程 技術 Introduction to Semiconductor Process Technology 許正興 國立聯合大學電機工程學系 ... • 幫助控制PECVD製程中薄膜 的應力 − 較重的離子轟擊,薄膜受到的壓應力越大 反應式離子蝕刻(RIE ...
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