半導體製程技術

本質應力是在薄膜成核與成長製程 期間產生的 異質應力則是因為薄膜與基片間的熱膨脹係數不同而 造成的 ... Microsoft PowerPoint - 半導體製程技術7 Author Administrator Created Date 5/7/2009 11:33:57 PM ...

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