半導體製程技術

半導體製程 技術 Introduction to Semiconductor Process Technology 許正興 國立聯合大學電機工程學系 ... 蝕刻速率 測量在蝕刻製程中物質倍從晶圓移除的速率有多快. d = d0-d1 (Å) 是厚度改變；t 是蝕刻時間(分) 蝕刻速率= d t (Å/分) d1 d0 d 蝕刻前 蝕刻後 ...

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