半導體製程及原理

... 技術的發展趨勢，大致仍朝向克服晶圓直徑變大，元件線幅縮小，製造步驟增加， 製程步驟特殊化以提供更好的產品特性等課題下所造成的良率控制因難方向上前進。

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