半導體製程.doc

在所有半導體元件中，離子植入是電晶體結構中一項相當重要的技術。在離子植入 過程中， .... 離子佈植原理是將所需的注入元素電離成正離子，並使其獲得所需的量， 以很快的速度射入晶片的技術。 離子佈植之後會 ... 圖七 離子佈植機. 圖八 氧化擴散 爐 ...

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