雙鑲嵌的需求 銅線寬的電阻係數 量測 日期:2001/10/4 來源:半導體科技 Timothy Turner, Keithley Instruments Inc, Solon, Ohio 相關的銅線寬電性測量很複雜,不像鋁線寬測量那麼直接了當,瞭解了這一點,就可為雙嵌製程提供一個可行的測量 ...
ri.search.yahoo.com