半導體科技新聞- 用於AMOLED製程的PECVD關鍵技術 ...

金屬中心針對這點，開發了超高頻40.68MHz PEVCD阻水氧鍍膜製程及設備。 ... 翁 博士深入淺出地說明40.68 MHz PECVD的關鍵技術，特別是射頻電漿源系統，包含  ...

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