半導體科技新聞- 殘餘氣體分析儀在半導體製程上的應用 ...

在本文中筆者將與您一同探討利用質譜的殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer) 在各個不同的積體電路製造過程中的應用方法。除了首先簡單介紹RGA操作原理及 ...

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