半導體科技新聞 - 殘餘氣體分析儀在半導體製程上的應用 - Semicondutor News, Science and Technology

而本文中所介紹的 殘餘氣體分析儀，則是一種非常有用的工具之一。B> 在高科技爆炸的20 ... 舉例說，機台經過週期性清洗保養後，利用 RGA來取得真空室內殘餘氣體分佈，及建立完整的資料庫以便於日後比對。 除了可以立即發現真空異常現象外，更能馬上...

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