半導體科技新聞 - 應用在微機電系統元件電漿蝕刻的最佳化 - Semicondutor News, Science and Technology

電漿蝕刻製程可以適用於滿足製造微機電系統(micro-electromechanical systems，MEMS)元件的挑戰，包括：矽的高深寬比 ... ...

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