半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 高度平整的陶瓷真空晶圓吸盤 - Semicondutor Magazine

這些極平、高純度陶瓷真空吸盤的堅硬程度是玻璃或金屬替代品的三至五倍。該公司其他可用的材料包括UltraSiC(碳化矽)、PureSiC(CVD碳化矽)、PlasmaPure(氧化鋁)、StatSafe(ESD，(electrostatic discharge)氧化鋁)，而吸盤產品的特點是耐腐蝕、低熱膨脹、高 ...

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