半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 製造矽晶太陽能電池需要真空基礎的解決方案 - Semicondutor Magazine

3>製造矽晶太陽能電池時，許多關鍵的製程步驟都需要真空設備的支援，例如單晶矽成長、多晶矽成長，以及在矽晶圓上沈積薄膜等步驟。以乾式幫浦為基礎的真空系統在成本計算(cost-of-ownership, CoO)時，可以得到最佳的製造效益。注意真空系統的重要性將 ...

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