半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 特氣供應系統的規劃與設計 ( 上 ) - Semicondutor Magazine

吳志平 / 工研院電子所 由於半導體製程日趨複雜且建廠成本相對的愈來愈高，其使用的製程化學品皆具有相當的危險性，雖然有相關的外國標準可進行規範，但實際的做法卻莫衷一是，各有其成本與優缺點上的考量。本文除概略性的介紹半導體廠之特氣 ...

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