半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 無塵室風機-濾網機組的測試 - Semicondutor Magazine

鄭名山 / 工研院能資所 所謂風機-濾網機組(Fan-filter Unit，FFU)，是安裝在無塵室天花板上或機台上方，提供無塵室與機台所需的氣流循環與空氣過濾。由於使用的簡便性，近年來大多數新建的無塵室，尤其是在台灣，幾乎都採用FFU方式的循環送風。許多無 ...

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