半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 微污染控制之成功案例 - Semicondutor Magazine

施惠雅、李壽南、顏紹儀、呂建豪/工業技術研究院能源與環境研究所 隨著半導體晶圓關鍵尺寸微小化、平面顯示器面積具大化，先進製程產品正面臨微量污染物之嚴重威脅，為大幅提昇產品良率，無塵室管理必須有完整的微污染控制策略。本文彙整過去 ...

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