半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 增加單晶圓濕式蝕刻製程的用途 - Semicondutor Magazine

Ricardo Fuentes, MATECH, Poughkeepsie, New York, United States 儘管乾蝕刻製程在部分的製程中已取得重要的地位，在半導體元件製程以及許多其他相關的技術中，例如微機電系統及光伏元件製造，濕蝕刻仍然是一個主要的技術。濕蝕刻製程常用於半導體的 ...

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