半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 光譜量測範圍對光學臨界尺寸分析的準確性與重現性之影響 - Semicondutor Magazine

量測系統 N ＆ K Olympian 是一個完全自動化的光學量測系統，針對薄膜和光學臨界尺寸（ OCD 或 “ 散射 ” ）使用寬頻偏振光反射測量。數據從深紫外線到近紅外波長，此外還有一個單獨的光學系統可量測波長至 15,000 nm 紅外波長。

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