半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 光罩工業：降低光罩成本逐漸上升之危機 - Semicondutor Magazine

若加上OPC與相位移技術等額外費用，對於非關鍵層光罩，其成本增加了18,000 ~ 20,000美金。 ... 前，自動地模擬曝光到晶片上的缺陷影像。先進光罩檢測與缺陷分析對於在曝光到晶片前，如何估計 ...

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