半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 使用即時折射指數監測技術對微影製程中光阻材料進行正向識別確認以降低 ...

即時折射指數(RI)感測器－世偉洛克® CR-288®濃度監測器 CR-288濃度監測器工作原理基於斯涅爾折射定律。該定律給出光線通過兩種折射指數不一致介質(如液體和玻璃)交界面時入射角和反射角之間的關係。

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