半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作 - 東南科技大學機械 ...

乾式真空幫浦顧名思義是在幫浦進氣、壓縮、排氣行程中，轉子. 運動所掃過的 ...... 陳峰志，周榮源，“乾式真空幫浦魯式及爪式轉子幾何輪廓”，機械月刊，. 中華民國八十 ...

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