五、濕蝕刻設備清潔法 濕蝕刻 設備的清潔法主要有晶圓沖洗式、超音波清洗、噴灑式清潔、刷洗，清洗後必須 將晶圓乾燥。下面針對最常用的清潔法--晶圓沖 洗式作更詳細的介紹 ...
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