半導體濕蝕刻洗淨設備

8 科學做見證．為工業 七、蝕刻設備未來趨勢與發展方向 隨著製程上的進化，在設備的設計上也 需要不斷的推陳出新，才能協助晶圓製程持續 的精進。濕蝕刻設備的種類從早期的Cassette type，演化至Boat type，由於增加boat的傳送

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