半導體業廢氣洗滌塔操作實務與探討

為：洗滌塔本體、填充物、噴霧器、除霧器、循環水系統及加藥系統，雖各家設計略 ... 濕式填充塔洗滌法的處理原理，乃藉由水溶液洗滌廢氣以吸收空氣中所含的污染物.

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