半導體廠冰水主機及冰溫水全自動控制系統設計

4 圖3 減開冰水主機時機 (4)傳統冰水系統控制系統之加減機之控 制程式，除了以冰水進出水溫差為依據之外，通常輔助以通過 De-couple 之冰水流量 X 為參考，如冰水主機進出水溫差已達減開冰水 主機時機，但通過 De-couple 之冰水流量 X

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