十一、精密儀器中心

精密儀器中心 318 型號：LINDBERG/BLUE 功能：SiO2 薄膜生長、Si 晶片之磷或硼擴散。 12. 光罩對準儀 (Mask Aligner)： 型號：OAI Model 506/VIS。 功能：半導體製程之微影圖案之對準與曝光。 13. 微波電漿化學氣相沉積系統 (MPCVD)：

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