化學清洗蝕刻區標準操作程序

當晶圓上受有機物污染時，會造成接觸電阻增加、閘極氧化膜之. 耐壓下降。 4.俱生氧化 .... 用DI Water(水槍供水或燒杯盛水) 清洗完畢後，廢水倒機台刷卡機旁之. Single hood 之排放 ...... 性，使其電阻值在25℃時可達18MΩ-cm。 在晶圓清洗完成後，將 ...

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