當晶圓上受有機物污染時,會造成接觸電阻增加、閘極氧化膜之. 耐壓下降。 4.俱生氧化 .... 用DI Water(水槍供水或燒杯盛水) 清洗完畢後,廢水倒機台刷卡機旁之. Single hood 之排放 ...... 性,使其電阻值在25℃時可達18MΩ-cm。 在晶圓清洗完成後,將 ...
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