化學氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司

電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並 沒有太大差異。PECVD是使用電漿中化學 ...

www.junsun.com.tw