化 學 工 程 學 系 碩 士 學 位 論 文 以脈衝式電漿輔助化學氣相沉積法製備 氟化非晶碳膜之研究

2-2.2 電漿聚合原理..... 20 2-3 氟碳膜之相關研究..... 25 2-3.1 氟碳膜近十年之研究..... 25 V 2-3.2 具功能性電漿氟碳膜之製備..... 26 第三章 研究方法與儀器原理..... 31 ...

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