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白光干涉三維檢測系統介紹與應用 作者:廖界程、張維哲、羅文期

(a)各波長同調示意圖 (b)白光干涉波包 圖 4:白光干涉波包形成示意圖 圖 5為白光干涉系統量測物體表面的示意圖,圖中表示物體表面起伏將影響相機影像中每 一像素點干涉波包的發生高度,依循此高度變化,求取干涉零光程差位置,即可決定出該像素點

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