加速度計和陀螺儀感測器：原理、檢測與應用

作者：Majid Dadafshar，Maxim Integrated現場應用工程技術團隊資深成員 微機電系統(MEMS)將機械和電子元件整合在微米級小型結構中。運用半導體與微製程技術，透過微機械加工將所有電子元件、感測器和機械元件整合至一片矽基板

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