加速度感測器- 台灣Wiki

加速度感測器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處於上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電極和引線分佈在膜片上，並採用壓焊工藝引出導線；工業現場測振感測器，主要是壓電式加速度感測器。其工作原理主要利於壓電敏感元件的 ...

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