利用飛秒雷射微奈米加工技術於玻片上製作高深寬比之微流道 ...

關鍵詞：飛秒雷射，雷射加工光斑，熱影響區，微流道，高深寬比. 一、 原理概述：. 由於飛秒雷射脈衝寬度極短，限制了材料加工區域周圍熱擴散效. 應，而使得加工表面 ...

140.130.91.3