利用濺鍍法製備氮化鈦薄膜之研究 - 東海大學化學工程與材料 ...

本研究以濺鍍法於矽晶圓基材上製備氮化鈦薄膜，製程控制條件分四大項：一、濺射電源(700/800/900 V)，二、偏壓 .... 維克氏硬度(VHN, Vickers Microhardness ).

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