利用大氣電漿束蝕刻PI膜之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

本實驗中以氦氣混合少量氧氣，使用頻率為13.56MHz射頻所激發的大氣電漿 ... Chapter 3 實驗方法與原理 17 3.1 實驗流程 17 3.2 PI試片製作 18 3.3 大氣電漿束蝕刻PI 20 3.4 臭氧濃度量測理論 21 3.5 表面能分析理論 22 Chapter 4 實驗結果與分析 25 ...

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