真 空 濺 鍍 可 應 用 之 層 面 相 當 廣 擴 , 經 驗 證 之 應 用 領 域 包 括 電漿清潔 (蝕刻)原理 : 利用高頻的電源所產生的電漿,來帶動氣體離子轟擊基底材料,以達到表面清潔 (蝕刻)的效果。 其功能包含了:
ri.search.yahoo.com