先進半導體建廠規劃與工程管理

半導體廠務需求及設計要領 P4 Strictly Private 2005/6/16 半導體廠特性 • 半導體廠製程設備投資高，生產投入速度要快--12“ Fab 700~1000億 • 停止生產損失大--12“ Fab 一日產出1~2億 • 製程變化大，需求時常會變

www.ctsp.gov.tw