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提升LED發光效率之製程方法 乾式蝕刻是一種非等向性蝕刻,乾式蝕刻與溼式蝕刻皆可朔造出不同形狀的圖案。溼式蝕刻關鍵在於溫度會影響蝕刻速率,時間則會影響圖案的高度、頭寬和底寬;乾式蝕刻關鍵在於氣體比例會影響圖案的高度和底部寬度 ...

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