儀器設備管理辦法

儀器設備管理辦法 修訂日期：98.07.05 實施日期：98.08.05 一.儀器名稱 中文：共濺鍍系統 英文：Co-Sputtering System 二.儀器設備廠牌及型號 優貝克科技股份有限公司 (ULVAC)/ Model ACS-4000-C3 三.規格 1. 系統壓力 (Pa)：7.0×10-5

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