你不知道的英特爾45nm製程技術秘辛

金屬閘極的核心部份也可能是TIL本身。因為這一層中包含了和後閘極層相同的功函數金屬，也許其邊緣可定義金屬閘極長度。但不幸的是，TIL層的邊緣差不多對準其上的bird's beak，因此這個測量點的選擇對於所獲得的LG ...

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