何謂微機電系統？?? - Yahoo!奇摩知識+

何謂微機電系統？它的優點是什麼？比較它與半導體積體電路(IC)特性的差別。~~~知道的人告訴我吧~~ ... 微機電系統(micro electrical mechanic system, MEMS)與半導體積體電路(IC) 因為體積都很小，所以都是用 "半導體製程" 製作出來的裝置

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