低應力薄膜製程技術- 技術移轉- 產業服務- 工研院中文版

我們發現大多數的微機電元件需使用低應力氮化矽薄膜做基材,本計畫利用低壓化學氣相沉積低應力氮化矽(Si-rich Nitride)薄膜。

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