以臭氧超純水清洗晶圓表面之簡介及應用 - 半導體科技

RCA標準清洗法(RCA Standard Clean)結合上述之SPM、DHF、APM及HPM(圖一) ， .... 有鑑於臭氧潔淨技術方法日益彰顯的重要性，本文將針對此技術的原理及應用 ...

ssttpro.acesuppliers.com