二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究_百度文库

第年月卷第航空精密制造技术期尹口八产吸田厂加' 绍口叼月刀河刀二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究乔大勇, 苑伟政, 虞益挺, , 谢建兵西北工业大学微纳米 ...

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