乾式蝕刻於矽微加工及微機電方面之應用

於濺擊蝕刻與電漿蝕刻之間的乾蝕刻 技術，藉由結合物理與化學兩種蝕刻技術，得以兼 具兩種技術的優點 ... 蝕刻製程 便發揮了它的功用，既能得到高深 寬比的結構，又能維持在極微小的尺寸要 ...

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