乾式蝕刻於矽微加工及微機電方面之應用 - 國家奈米元件實驗室

微機電系統( M i c ro e l e c t ro m e ch a n i c a l. s y s t e m，簡稱MEMS) 是利用 半導體製程，來. 製造與整合機械及電子 ...

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