乾式洗滌塔::::慧群環境科技股份有限公司::::

1.高處理效率 處理效率＞99％ 處理後初流濃度 < TLV. Arsine < 50 ppb，SiH4 < 5000 ppb Phosphine < 300 ppb 2.維修保養簡易，可節省二分之一的時間 ...

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