主題／高介電常數材料在 IC 上之應用

主題／高介電常數材料在IC 上之應用 指導老師／邱福千 組員／袁論宇、黃彥騰、廖仟蓉、劉得均、 彭翰晨、李偉平、林志儒 著電子元件尺寸持續微縮化（包含通道長度與氧化層厚度）以及元件集 積度要求越來越高，閘極氧化層隨之越來越薄。

www.ee.mcu.edu.tw