中興工程顧問社 -- 11.半導體廠製程排氣設計方法(二)

編號R-MS-01-02 作者：陳希立等 11.半導體廠製程排氣系統設計方法(二) 價格：1310元 本書係根據半導體廠製程中所有可能產生的污染源以及處理方法，歸納出半導體廠製程排氣系統所具有的特性與設計的要點，並提出一個具有回饋設計觀念的風管設計方法 ...

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