中砂鑽石碟用於半導體化學機械研磨製程,修整研磨墊以達到需求 移除率及平坦度。 1. 何謂CMP? 化學機械平坦化(Chemical & Mechanical Planarization或CMP)已大量的用於製造晶片,如積體電路(IC)或動態隨機記憶體(DRAM)。
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